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tekscan压力分布分析系统在CMP中的应用

时期:2021-03-17 01:51 点击数:
本文摘要:Tekscan具有世界上最技术设备的接触压力量测系统。该系统软件精准、用以简易且成本费高效率。根据高品质的服务项目实际顾客的市场需求,并获得最高品质的解决方法。 I-Scan系统软件是Tekscan集团旗下一款趋于强悍的工作压力量测系统,获得晶圆CMP碾磨时,晶圆工作压力产自的剖析、说明、与及调节的专用工具。

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Tekscan具有世界上最技术设备的接触压力量测系统。该系统软件精准、用以简易且成本费高效率。根据高品质的服务项目实际顾客的市场需求,并获得最高品质的解决方法。

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  I-Scan系统软件是Tekscan集团旗下一款趋于强悍的工作压力量测系统,获得晶圆CMP碾磨时,晶圆工作压力产自的剖析、说明、与及调节的专用工具。图是I-Scan在晶圆CMP碾磨时的一个实例,将I-Scan纤薄,无入侵性的感应器摆在打磨头和晶圆正中间,晶圆的受力尺寸和均匀分布情况将在电脑上屏幕上及时的说明,使用人能够及时的依据所得到 的数据信息/影象对打磨头作调节,之后晶圆的受力均匀分布已经。

极大地提高了晶圆制做的合格率和节约研磨抛光机的调整时间。  I-Scan适用范围静态数据或动态性的剖析,数据信息能够2维(图2)或3维(图3)的影象说明。

从图上能够显出外场的受力比较小,图4是截面剖析。  I-Scan能够用以在单打磨头或的机器设备上,感应器能够依据顾客的市场需求自定以顺应多打磨头机器设备对晶圆未作全范畴的检验。


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